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资源名称 微细加工技术
所属学科 基础类
适用课程 无机非金属材料
资源分类 材料
资源大小 1293K
授权方式 普通会员
是否原创
下载统计 本周下载:6 总下载:325
资源评价 ★★★
资源简介 PPT格式。介绍微电子技术中图形加工的一般方法,微细加工中的光刻原理,微细加工中的刻蚀,微细加工中的薄膜技术,其它微细加工技术等内容。hlshen2006会员上传。
   
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